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滄州宇鑫拓展器材有限公司

蘇州g線光刻膠單體

發(fā)布時(shí)間:    來源:滄州宇鑫拓展器材有限公司   閱覽次數(shù):79615次

有人研究了不同有機(jī)配體對(duì)此類光刻膠光刻性能的影響。有機(jī)配體會(huì)影響光刻膠的靈敏度。通過配體交換法,他們制備了反二甲基丙烯酸(DMA)和鄰甲基苯甲酸(TA)配體的HfO2、ZrO2體系。其中HfO2-DMA和ZrO2-DMA體系的靈敏度較高,為1.6~2.4mJ·cm?2,可實(shí)現(xiàn)20nm線寬的光刻圖案。此外,配體的種類還將影響光刻膠的溶解性。Li等報(bào)道了不同濃度的不同羧酸與ZrO2或HfO2配合之后的溶解度變化情況,發(fā)現(xiàn)不飽和的羧酸配體能獲得更大的溶解性差異。光刻膠所屬的微電子化學(xué)品是電子行業(yè)與化工行業(yè)交叉的領(lǐng)域,是典型的技術(shù)密集行業(yè)。蘇州g線光刻膠單體

蘇州g線光刻膠單體,光刻膠

2005年,研究人員利用美國光源的高數(shù)值孔徑微觀曝光工具評(píng)價(jià)了RohmandHaas公司研發(fā)的新型ESCAP光刻膠MET-1K,并將其與先前的EUV-2D光刻膠相比較。與EUV-2D相比,MET-1K添加了更多的防酸擴(kuò)散劑。使用0.3NA的EUV曝光工具,在90~50nm區(qū)間,EUV-2D和MET-1K的圖形質(zhì)量都比較好;但當(dāng)線寬小于50nm時(shí),EUV-2D出現(xiàn)明顯的線條坍塌現(xiàn)象,而MET-1K則直到35nm線寬都能保持線條完整。在45nm線寬時(shí),MET-1K仍能獲得較好的粗糙度,LER達(dá)到6.3nm??梢奙ET-1K的光刻性能要優(yōu)于EUV-2D。從此,MET-1K逐漸代替EUV-2D,成為新的EUV光刻設(shè)備測(cè)試用光刻膠。浙江LCD觸摸屏用光刻膠光刻膠按應(yīng)用領(lǐng)域分類,可分為 PCB 光刻膠、顯示面板光刻膠、半導(dǎo)體光刻膠及其他光刻膠。

蘇州g線光刻膠單體,光刻膠

2005 年起,Gonsalves 課題組將陽離子基團(tuán)(硫鎓鹽等)修飾的甲基丙烯酸酯與其他光刻膠單體共聚,制備了一系列側(cè)基連接光致產(chǎn)酸劑的光刻膠,聚合物中金剛烷基團(tuán)的引入可以有效提升抗刻蝕性。這類材料與主體材料和產(chǎn)酸劑簡(jiǎn)單共混的配方相比,呈現(xiàn)出更高的靈敏度和對(duì)比度。2009年起,Thackeray等則將陰離子基團(tuán)連接在高分子主鏈上,通過EUV曝光可以得到的光刻圖形分辨率為22nm光刻圖形,其對(duì)應(yīng)的靈敏度和線邊緣粗糙度分別為12mJ·cm?2和4.2nm。2011年,日本富士膠片的Tamaoki等也報(bào)道了一系列對(duì)羥基苯乙烯型主鏈鍵合光致產(chǎn)酸劑的高分子光刻膠,并研究了不同產(chǎn)酸劑基團(tuán)、高分子組成對(duì)分辨率、靈敏度和粗糙度的影響,最高分辨率可達(dá)17.5nm。

所謂光刻技術(shù),指的是利用光化學(xué)反應(yīng)原理把事先準(zhǔn)備在掩模版上的圖形轉(zhuǎn)印到一個(gè)襯底(晶圓)上,使選擇性的刻蝕和離子注入成為可能的過程,是半導(dǎo)體制造業(yè)的基礎(chǔ)之一。隨著半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展,光刻技術(shù)從曝光波長(zhǎng)上來區(qū)分,先后經(jīng)歷了g線(436nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm,包括干式和浸沒式)和極紫外(EUV,13.5nm)光刻。對(duì)應(yīng)于不同的曝光波長(zhǎng),所使用的光刻膠也得到了不斷的發(fā)展。目前7nm和5nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)已經(jīng)到來,根據(jù)各個(gè)技術(shù)的芯片制造企業(yè)公告,EUV光刻技術(shù)已正式導(dǎo)入集成電路制造工藝。在每一代的光刻技術(shù)中,光刻膠都是實(shí)現(xiàn)光刻過程的關(guān)鍵材料之一。光刻膠也稱為光致抗蝕劑,是一種光敏材料,受到光照后特性會(huì)發(fā)生改變,主要應(yīng)用于電子工業(yè)和印刷工業(yè)領(lǐng)域。

蘇州g線光刻膠單體,光刻膠

由于EUV光刻膠膜較薄,通常小于100nm,對(duì)于精細(xì)的線條,甚至不足50nm,因此光刻膠頂部與底部的光強(qiáng)差異便顯得不那么重要了。而很長(zhǎng)一段時(shí)間以來,限制EUV光刻膠發(fā)展的都是光源功率太低,因此研發(fā)人員開始反過來選用對(duì)EUV光吸收更強(qiáng)的元素來構(gòu)建光刻膠主體材料。于是,一系列含有金屬的EUV光刻膠得到了發(fā)展,其中含金屬納米顆粒光刻膠是其中的典型。2010年,Ober課題組和Giannelis課題組首度報(bào)道了基于HfO2的金屬納米顆粒光刻膠,并研究了其作為193nm光刻膠和電子束光刻膠的可能性。隨后,他們將這一體系用于EUV光刻,并將氧化物種類拓寬至ZrO2。他們以異丙醇鉿(或鋯)和甲基丙烯酸(MAA)為原料,通過溶膠-凝膠法制備了穩(wěn)定的粒徑在2~3nm的核-殼結(jié)構(gòu)納米顆粒。納米顆粒以HfO2或ZrO2為核,具有很高的抗刻蝕性和對(duì)EUV光的吸收能力;而有機(jī)酸殼層不但是光刻膠曝光前后溶解度改變的關(guān)鍵,還能使納米顆粒穩(wěn)定地分散于溶劑之中,確保光刻膠的成膜性。ZrO2-MAA納米材料加入自由基引發(fā)劑后可實(shí)現(xiàn)負(fù)性光刻,在4.2mJ·cm?2的劑量下獲得22nm寬的線條;而加入光致產(chǎn)酸劑曝光并后烘,利用TMAH顯影則可實(shí)現(xiàn)正性光刻。目前,我國光刻膠自給率較低,生產(chǎn)也主要集中在中低端產(chǎn)品,國產(chǎn)替代的空間廣闊。華東PCB光刻膠集成電路材料

光刻膠通過光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩(掩模版)轉(zhuǎn)移到待加工基片上。蘇州g線光刻膠單體

環(huán)狀單分子樹脂中除了杯芳烴類物質(zhì)以外,還有一類被稱為“水車”(Noria)的光刻膠,該類化合物由戊二醛和間苯二酚縮合而成,是一種中心空腔的雙層環(huán)梯狀結(jié)構(gòu)分子,外形像傳統(tǒng)的水車,因此得名,起初在2006年時(shí)由日本神奈川大學(xué)的Nishikubo課題組報(bào)道出來。隨后,日本JSR公司的Maruyama課題組將Noria改性,通過金剛烷基團(tuán)保護(hù)得到了半周期為22nm的光刻圖形。但是這種光刻膠的靈敏度較低、粗糙度較大,仍需進(jìn)一步改進(jìn)才能推廣應(yīng)用。蘇州g線光刻膠單體

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鈑金 等 19 人贊同該回答

鈑金加工是一項(xiàng)廣泛應(yīng)用于制造業(yè)的重要工藝,它通過對(duì)金屬板材進(jìn)行切割、彎曲、沖壓等加工工藝,制作出各種形狀的金屬零部件。鈑金加工具有許多優(yōu)勢(shì),下面將通過數(shù)據(jù)的方式來證明其優(yōu)勢(shì),并量化這些數(shù)據(jù)。首先,鈑金 。

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掐絲琺瑯,通吃東西方名流的技藝你聽過“景泰藍(lán)”吧?很多人把“景泰藍(lán)”直接理解為“掐絲琺瑯”,其實(shí)不準(zhǔn)。景泰藍(lán)的標(biāo)準(zhǔn)名稱叫“銅胎掐絲琺瑯”,是把柔軟的扁銅絲掐成的各種花紋焊在銅質(zhì)胎型上,填入琺瑯質(zhì)的色釉 。

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滾齒 等 51 人贊同該回答

滾齒機(jī)傘齒輪是一種用于滾齒機(jī)中的傳動(dòng)齒輪,具有高精度、強(qiáng)度高、高耐磨性等特點(diǎn)。滾齒機(jī)傘齒輪的齒形為直齒或斜齒,具有較小的模數(shù)和較多的齒數(shù),能夠承受較大的徑向和軸向載荷,適用于重載工況。在制造過程中,需 。

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主要分為四類:1、多層板貼面門套:多層板貼膜PVC)或貼紙油漆等,由于其表面采用貼合工藝,在潮濕干燥環(huán)境中貼面與板材之間易脫落、脫層、出現(xiàn)面層起泡現(xiàn)象,不平整。長(zhǎng)期使用貼面與板材之間會(huì)產(chǎn)生厭氧菌,使材 。

湖北一體化智能提升裝備定制
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【工 等 24 人贊同該回答

【工程起重機(jī)的分類】工程起重機(jī)主要包括汽車起重機(jī)、輪胎的起重機(jī)、全路面起重機(jī)、隨車起重機(jī)、空作業(yè)車、履帶式起重機(jī)等應(yīng)用于交通、油田、礦山、港口、鋼鐵、水電、以及各種工程建設(shè)等行業(yè),是當(dāng)前應(yīng)用非常的起重 。

RM48L952DZWTT
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DA 等 58 人贊同該回答

DAC7612U/2K5是一款16位數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器DAC),具有低噪聲、高精度、低失真等特點(diǎn),適用于各種需要高精度模擬信號(hào)輸出的應(yīng)用。該IC采用24引腳SOIC封裝,具有較小的體積和較低的功耗,可實(shí)現(xiàn) 。

清遠(yuǎn)中式實(shí)木餐桌定制
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實(shí)木 等 84 人贊同該回答

實(shí)木餐桌的質(zhì)量也非常高,它們經(jīng)過精心的制作和處理,具有很高的耐久性和穩(wěn)定性。實(shí)木餐桌還具有很好的環(huán)保性,因?yàn)樗鼈兪怯商烊荒静闹瞥傻?,不?huì)對(duì)環(huán)境造成污染。 總之,實(shí)木餐桌是一種具有悠久歷史和深厚文化底蘊(yùn) 。

惠山區(qū)活性炭吸附箱優(yōu)化價(jià)格
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組成一個(gè)“v”形活性炭抽屜框架的兩個(gè)活性炭抽屜框架連接的兩個(gè)側(cè)隔板13之間的筒體1側(cè)壁上開設(shè)有側(cè)門14,側(cè)門14通過鉸鏈鉸接到筒體1外側(cè),且側(cè)門14與筒體1接觸處設(shè)有密封膠條,密封膠條的設(shè)置保證了側(cè)門 。

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操作 等 76 人贊同該回答

操作彈性大等優(yōu)點(diǎn)。填料塔也有一些不足之處,如填料造價(jià)高;當(dāng)液體負(fù)荷較小時(shí)不能有效地潤濕填料表面,使傳質(zhì)效率降低;不能直接用于有懸浮物或容易聚合的物料;對(duì)側(cè)線進(jìn)料和出料等復(fù)雜精餾不太適合等。填料是填料塔 。

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設(shè)計(jì)思維和工業(yè)設(shè)計(jì)有密切的關(guān)系,可以說是相輔相成的。設(shè)計(jì)思維是一種解決問題的方法論,是以人為中心,關(guān)注用戶需求和使用體驗(yàn),并通過分析和創(chuàng)新的方式來尋找解決方案。而工業(yè)設(shè)計(jì)則是將設(shè)計(jì)思維應(yīng)用到產(chǎn)品的實(shí)際 。

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木材 等 97 人贊同該回答

木材粉碎機(jī)是一種用于木材粉碎回收的機(jī)械設(shè)備。木材粉碎機(jī)上的風(fēng)機(jī)在生產(chǎn)運(yùn)行過程中,由于其轉(zhuǎn)速非常高,工作環(huán)境惡劣,沙子會(huì)對(duì)風(fēng)機(jī)造成嚴(yán)重的磨損,導(dǎo)致葉輪本體和輪轂鉚釘頭脫落,還會(huì)導(dǎo)致鉚釘孔處產(chǎn)生疲勞裂紋。 。

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